日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)
日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)是日立公司2011年推出的高分辨冷场发射扫描电镜,达到扫描电镜二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。
日立SU9000采取了改进的真空系统和电子光学系统,不仅分辨率性能明显提升,而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作,可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。 日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)的特点: 1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜高分辨率:二次电子0.4nm(30KV),STEM 0.34nm(30KV)。 2. Hitachi设计的E×B系统,可以自由控制SE和BSE检测信号。 3.新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有稳定和高亮度特点。 4.新物镜设计提高了低加速电压条件下的图像分辨率。 5. STEM的明场像能够调整信号检测角度,明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。 6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。
日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)的技术参数:
项目 |
技术指标 |
二次电子分辨率 |
0.4nm (加速电压30kV,放大倍率80万倍) |
1.2nm (加速电压1kV,放大倍率25万倍) |
STEM分辨率 |
0.34nm(加速电压30kV,晶格象) |
观测倍率 |
底片输出 |
显示器输出 |
LM模式 |
80~10,000x |
220~25,000x |
HM模式 |
800~3,000,000x |
2,200~8,000,000x |
样品台 |
侧插式样品杆 |
样品移动行程 |
X |
±4.0mm |
Y |
±2.0mm |
Z |
±0.3mm |
T |
±40度 |
标准样品台 |
平面样品台:5.0mm×9.5mm×3.5mmH |
截面样品台:2.0mm×6.0mm×5.0mmH |
专用样品台 |
截面样品台:2.0mm×12.0mm×6.0mmH |
双倾截面样品台:0.8mm×8.5mm×3.5mmH |
信号检测器 |
二次电子探测器 |
TOP 探测器(选配) |
BF/DF 双STEM探测器(选配) |
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